洁净车间环境监测管理规程

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洁净车间环境监测管理规程

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2022年4月3日

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文件编号: XX-XX-XX

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1

洁净车间环境监测管理规程

版本 生效日期 页码

2022年4月3日

第2页，共3页

目的

建立生产区洁净车间环境监测的管理规程。

2 范围 洁净车间

3 责任人 质管部

4 内容

4.1 定义和说明

4.1.1 置信上限：从正态分布抽样得到实际均值按给定的置信度（此处为95%）计算得到的估计上

限将大于此实际均值，则称计算得到的这一均值估计上限为置信上限。

4.2 生产区域洁净等级划分及采样点分布图（见附件1）。 4.3 监测：

4.3.1 温湿度：

要求：温度18℃-26℃，相对湿度45%-65%。每班次应进行监测。 4.3.2 静压差：

要求：洁净车间与室外大气的静压差＞10Pa。每月应进行监测。 4.3.3 风速及换气次数：

要求：洁净车间换气次数为≥12次/h。每月应进行监测。 4.3.4 尘粒最大允许数

4.3.4.1 要求：见表1。每个采样点除了符合上述标准外，全部采样点的粒子浓度平均值均值的

95%置信上限必须低于或等于规定的级别界限，即UCL≤级别界限。

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