宽带增透膜工艺的优化与性能分析

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宽带增透膜工艺的优化与性能分析

张蒙蒙;孔伟金;张敏;王增智;李娜;季淑英

【期刊名称】《青岛大学学报（自然科学版）》 【年(卷),期】2015(028)001

【摘 要】为满足望远镜等光学系统中光学元件可见光范围宽光谱增透的要求,根据Tfcale软件优化设计膜系,使用离子辅助沉积,晶振膜厚控制仪,电子束热蒸发镀膜方法,通过对镀膜工艺参数的不断改进和调整,制备了400～700nm的宽带增透膜.结果表明:所制作的可见光增透膜平均反射率达到0.36％,优于望远镜等光学系统的增透要求.

【总页数】5页(P40-44)

【作 者】张蒙蒙;孔伟金;张敏;王增智;李娜;季淑英

【作者单位】青岛大学物理科学学院,青岛266071;青岛大学物理科学学院,青岛266071;青岛大学物理科学学院,青岛266071;青岛大学物理科学学院,青岛266071;青岛大学物理科学学院,青岛266071;青岛大学物理科学学院,青岛266071

【正文语种】中 文 【中图分类】O484.5 【相关文献】

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